Chemische Schichten, wie
die hier aufgeführte Ni-Diamantschicht, bestehen aus
einer Ni-Matrix, in der gleichmäßig und fein verteilt
Diamantpartikel definierter Größe eingelagert sind.
Dies kann beispielsweise durch die Einstellung eines definierten
Oberflächenreibwertes erfolgen. Damit diese Eigenschaften
während der gesamten Schichtlebensdauer erhalten bleiben,
ist eine homogene Diamantverteilung erforderlich. Mittels
der Tiefenprofilanalyse läßt sich nachweisen, daß
diese Anforderung in hohem Maße erfüllt wird.
Quantitative GDOS-Tiefenprofilanalyse einer chemischen Ni-Schicht