GDOS, GDOES, GDO(E)S, Glimmentladungsspektroskopie, Glimmentladungsspektrometrie, Restaustenit, EDX, REM, AUGER, SIMS, TOF-SIMS, ESCA, AFM,
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Fachinfo / Glossar


Mit diesem Glossar möchten wir Ihnen die wichtigsten Fachbegriffe erklären.
( wird bei Bedarf erweitert.)

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AES Auger electron spectroscopy
AFM Atomic force microscopy
EDS / EDX Energy dispersive spectrometry
EDX / EDS Energy dispersive X-ray
EELS Electron energy loss spectroscopy
EID Electron induced desorption
ESCA / XPS Electron spectroscopy for chemical analysis
GDOS Glow discharge optical spectroscopy
ISS Ion scattering spectroscopy
LAMMA Laser microprobe mass analysis
LEED Low energy electron diffration
PEEM Photo emission electron microscopy
REM / SEM Raster-Elektronenmikroskopie
RBS Rutherford backscattering
RFA X-ray fluoroscence analysis
RHEED Reflection high-energy electron diffraction
SAM Scanning auger mircroprobe
SE Secondary electron
SEM / REM Scanning electron microscopy
SIMS Secondary ion mass spectroscopy
SNMS Secondary neutral mass spectroscopy
TEM Transmission electron mikroscopy
ToF-SIMS Time of flight SIMS
UPS Ultraviolet photoelectron spectroscopy
WDX / WDS Wavelength dispersive analysis of X-ray
XPS / ESCA X-ray photoelectron spectroscopy
ZAF Atomic number, absorption, and fluoroscence correctionis pattern


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