GDOS,
GDOES, GDO(E)S, Glimmentladungsspektroskopie, Glimmentladungsspektrometrie,
Restaustenit, EDX, REM, AUGER, SIMS, TOF-SIMS, ESCA, AFM, |
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Fachinfo / Grundlagen / ESCA
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Röntgenphotoelektronenspektroskopie - ESCA
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| Durch den Beschuß mit monochromatischer
Röntgenstrahlung werden aus der Probenoberfläche
Photoelektronen emittiert.
Die Energie des Elektrons ist charakteristisch für das
Oberflächenatom und dessen chemischen Bindungszustand.
Die Ortsauflösung (laterale Auflösung) beträgt
5 µm, die Tiefenauflösung 2-5 Atomlagen (ca. 1-4
µm).
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Prinzip der Anregung mit monochromatischen Röntgenstrahlen
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Anwendungsbeispiel:
Ein kornorientiertes Elektroblech, welches als Hauptlegierungselement
Silizium (ca. 3,2 %) enthält, wurde vor der Hochglühung
mit Al2O3 beschichtet. Die Proben sind jedoch extrem spröde
geworden.
Da der Korndurchmesser im cm-Bereich liegt, können die
Körner von Hand herausgebrochen und auf einem Probenträger
fixiert werden. |
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Ergebnis:
An den Korngrenzen des Elektroblechs konnten Anreicherungen
der Elemente Si, N und C gefunden werden. Durch die Änderung
der Bindungsenergie der Photoelektronen konnten diese als
SiC und SiN nachgewiesen werden. Diese Anreicherung führt
zu einer Versprödung des Materials.
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