Auf einem Substrat wurde eine wenige 100 nm dicke Aluminiumoxidschicht aufgebracht. Im REM waren feine Risse in der Schicht zu erkennen. Die Fragestellung war, ob diese Risse durch die Schicht in das Substrat gehen oder nicht. Metallografisch war es nicht möglich Bilder der Risse zu erhalten.

Im FIB wurde ein Stück herausgeschnitten und die Risse vermessen. Es stellte sich heraus, daß die Risse durch die Oxidschicht in das Grundmaterial gehen.