GDOS oder GDOES steht für Glow Discharge Optical Emission
Spectroscopy .
Neben der Detektion von Photonen in einem Optischen Emissionsspektrometer
(GDOS) gibt es auch die Bestimmung von Molekülen oder Fragmenten
in einem Massenspektrometer (GDMS). Tiefenprofile bis 100 µm
und mehr sind mit GDOS kein Problem. Die Analyse von H und anderer
leichter Elemente ist mit GDOS ebenfalls möglich.
Tiefenprofile mit GDOS bieten eine Reihe von Möglichkeiten.
Durch die hohe Sputterrate in Verbindung mit hohen Nachweisgrenzen
bieten quantitative GDOS Tiefenprofilanalysen eine sehr gute Möglichkeit
dicke Schichten schnell und zuverlässig zu analysieren. Im
Gegensatz zu anderen oberflächenanalytischen Verfahren wie
z.B. AUGER, ESCA / XPS, SIMS, TOF-SIMS oder SNMS können auch
100 µm und mehr schnell abgesputtert und analysiert werden.
Während AUGER und ESCA nur ein sehr geringes Probenvolumen
analysieren beträgt der Analysendurchmesser bei quantitativen
GDOS Tiefenprofilanalysen 2,5 oder 4mm im Durchmesser.
In der Wärmebehandlung haben quantitative GDOS Tiefenprofilanalysen
bereits in vielen Bereichen die normale Metallografie ersetzt bzw.
ergänzt. Verbindungsschicht, Porensaum, An- und Abreicherungen
von Legierungselementen können durch quantitative GDOS Tiefenprofilanalysen
schnell und sicher bestimmt werden. Die Metallografie wird durch
quantitative GDOS Tiefenprofilanalysen deutlich entlastet und z.
T. ersetzt. Beim Nitrieren oder Nitrocarburieren können alle
wichtigen Informationen durch quantitative GDOS Tiefenprofilanalysen
in wenigen Minuten erzielt werden.
In der Galvanik und auch bei CVD/PVD-Beschichtungen ist eine
einfache und schnelle Beurteilung der Ergebnisse durch quantitative
GDOS Tiefenprofilanalysen möglich.
Durch die Möglichkeit auch nichtleitende Schichten durch
GDOS Tiefenprofilanalysen Beim nn untersuchen können jetzt
auch Lackschichten, Oxidschichten, Gläser usw. untersucht
werden. Eine Umrechnung der qualitativen GDOS Tiefenprofilanalysen
in quantitative GDOS Tiefenprofilanalysen ist möglich. Durch
die Entwicklung einer neuen Leistungsmessung wird die Genauigkeit
der Quantifizierung der GDOS Tiefenprofilanalysen wesentlich erhöht.
Neben GDOS bzw. GDOES und GDMS gibt es jetzt auch noch die Möglichkeit
mit einem Gasentladungsplasma Späne und andere kleinste Proben
durch eine direkte Feststoffanalytik zu bestimmen. Vorteil ist
hier wie, bei GDOS, eine Analyse ohne die Proben in einer Flüssigkeit
auflösen zu müssen.
Weitere Informationen über quantitative
GDOS Tiefenprofilanalysen finden Sie auf dieser WEB Seite
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